Charakterystyka:

1) Prędkość azotowania jest większa, cykl azotowania można odpowiednio skrócić, a czas azotowania jonowego można skrócić do 1/3–2/3 czasu azotowania gazowego.

2) Kruchość warstwy azotowanej jest niewielka, a biała warstwa powstająca na powierzchni azotowania plazmowego jest bardzo cienka, a nawet nie występuje wcale. Ponadto, odkształcenia spowodowane azotowaniem są niewielkie, co jest szczególnie przydatne w przypadku precyzyjnych części o złożonych kształtach.

3) Można zaoszczędzić energię i amoniak. Zużycie energii elektrycznej wynosi 1/2-1/5 zużycia azotowania gazowego, a zużycie amoniaku 1/5-1/20 zużycia azotowania gazowego.

4) Łatwo jest wykonać miejscowe azotowanie, o ile część, która nie ma być azotowana, nie wytwarza świecenia, część nieazotowaną łatwo zabezpieczyć, a świecenie można zabezpieczyć za pomocą osłony mechanicznej i płyty żelaznej.

5) Bombardowanie jonowe pozwala oczyścić powierzchnię i automatycznie usunąć warstwę pasywacyjną. Stal nierdzewną i żaroodporną można azotować bezpośrednio, bez konieczności wcześniejszego usuwania warstwy pasywacyjnej.

6) Można kontrolować strukturę warstwy złożonej, grubość warstwy infiltracyjnej i strukturę.

7) Zakres temperatur obróbki jest szeroki, a pewną grubość warstwy azotowanej można uzyskać nawet poniżej 350 C.

8) Warunki pracy uległy poprawie. Obróbka azotowania plazmowego jest wolna od zanieczyszczeń i odbywa się pod bardzo niskim ciśnieniem, z minimalną emisją spalin. Źródłem gazów jest azot, wodór i amoniak, a emisja szkodliwych substancji jest praktycznie zerowa.

9) Można ją stosować do wszystkich rodzajów materiałów, w tym stali nierdzewnej, stali żaroodpornej o wysokiej temperaturze azotowania, stali narzędziowej i precyzyjnych części o niskiej temperaturze azotowania, podczas gdy azotowanie niskotemperaturowe jest dość trudne w przypadku azotowania gazowego.